一、项目名称： 磁控溅射镀膜设备
二、 项目编号：S2026058
三、项目预算：36万元人民币
四、采购人：苏州大学采购与招投标管理中心
地址：江苏省苏州市东环路50号凌云楼906室
邮编：215021 传真：0512-67165076
联系人：罗老师 电话：0512-67504198
电子邮箱：lrb998@suda.edu.cn
技术联系人： 方老师 电话：13123361286
电子邮箱：fzheng1995@163.com
五、采购货物品名、数量及主要性能参数要求
磁控溅射镀膜设备 1套
1.真空腔室：镀膜室内净尺寸≥ L400mm×W440mm×H450mm，腔体采用SUS304 不锈钢制作；方箱式，配有前后两个大门，前门可与手套箱连接，后门用于设备清理维护。
2.真空系统：≥1300L/s的分子泵以及≥10L/s的旋片泵+高真空阀门+数显复合真空计。
3.真空极限：8.0× 10 - 6 Pa（设备空载，抽真空24 小时）。
4.升压率：设备升压率≤0.8Pa/h（12 小时平均值）。
5.抽速：从大气抽至 8.0× 10 - 4 Pa≤15min。
6.基片台
6.1基片台可承载Φ150mm的样片，配有基片台挡板。
6.2旋转转速0～20 转/分钟，可调可控；基片台与腔室绝缘设计。
6.3加热温度300℃。
7.溅射靶及电源
7.1配置 3 套 3 英寸永磁共焦磁控溅射靶，向上溅射，靶角度、靶基距手动可调，可以溅射磁性材料，磁控靶配有气动挡板结构。
7.2工作方式：各靶可独立/顺次/共同工作，采用磁控靶从下向上溅射镀膜。
7.3配套电源：DC 1 台，RF2台，偏压电源1台。
8.工作气路系统：Ar，100sccm；H2，20sccm；O2，10sccm。
9.膜厚均匀性：在Φ150mm范围内可满足≤±2%。
10.方阻：在Φ150mm范围内溅射IZO/ITO等透明电极可满足方阻均匀性 ≤±5%，IZO/ITO等透明电极在40 nm厚度下方阻≤150 Ω/sq。
11.控制方式：PLC+触摸屏控制，可实现编程后全自动镀膜，工艺参数可导出或存入。
12.报警及保护：对缺水进行报警并执行相应保护措施，逻辑程序互锁保护。
13.可与手套箱实现对接；前门滑轨式开门，配置有过渡板，过渡板与手套箱箱体可连接。
14.质保期不少于2年。
六、评分标准
本次磋商采用综合评分法，总分为100分，具体内容如下：
（一）价格分（35分）
1．基准价：满足竞争性磋商文件要求且价格最低的报价为基准价，基准价为满分35分。
2．其他供应商的报价得分按照下列公式计算：报价得分＝（基准价／报价）×35分。
（二）技术参数、配置及整体综合性能分（47分）
1.技术参数及配置（40分）
以供应商提供的能直接反映该产品技术参数的彩页或产品说明书等作为主要评判依据，其他情况由磋商小组根据实际情况进行评判。
（1）所提供产品多项不满足磋商公告要求（负偏离），或参数偏离超出用户教学、科研可接受范围的，经磋商小组评审可作为无效响应文件。
（2）所提供产品不满足磋商公告要求（负偏离）、配置不详、技术参数不明确、缺漏项的，每处扣2分。（34分）
（3）所提供产品性能参数优于磋商公告技术要求的（磋商小组认为优于指标有意义的），其中优于项每处加2分。（6分）
2.技术方案（7分）
供应商提供为实现本项目磋商公告技术参数要求而制定的技术方案。
技术方案详尽、合理、针对性强，能完全符合用户科研需求的得7分。
技术方案规范、较合理、针对性一般，能符合用户科研需求的得4分。
技术方案有疏漏、合理性一般、没有针对性，部分符合用户科研需求的得2分。
技术方案完全不能符合用户科研需求或未提供技术方案的得0分。
（三）综合商务（18分）
1.业绩（5分）。供应商提供自2023年起至今同类型设备销售业绩，每提供1份业绩得1分，满分5分。（注：①提供业绩合同复印件；②以签订合同日期为准；③同一单位业绩不重复计分。）
2.市场反馈情况（2分）。供应商提供同类型设备现有用户反馈情况，每提供1份得1分，满分2分。反馈情况需含反馈单位公章、项目名称、型号、采购时间、满意度、联系人及电话，。
3.售后服务与培训情况等（9分）
（1）质保期（2分）。在磋商文件要求基础上每增加1年质保期加1分。
（2）售后服务与培训方案(7分）
供应商对本项目制定售后服务管理体系售后服务与培训方案， 方案至少包括：①售后服务人员、②服务机制、③服务体系的完备性等内容④培训内容、人员与时长等。
方案内容涵盖全面、科学、合理；响应时间及时、故障解决方案科学合理，服务体系完备，培训内容总体可操作性及针对性贴合本项目需求的得7分；
方案内容涵盖基本全面、规范；响应时间合理、故障解决方案基本合理，服务体系基本合理，培训内容总体具有一定操作性，基本符合采购需求的得4分；
方案内容欠缺规范，响应时间不够合理、故障解决方案不够合理，服务体系不够合理，培训内容可操作性及针对性不足或部分不贴合本项目需求的得2分；
方案不满足采购基本需要或未提供方案的不得分。
4．其它优惠措施（2分）。根据供应商提供的在磋商文件要求范围以外，磋商小组认可的优惠措施综合评定。
七、磋商响应报价应包括所报仪器设备费、安装调试费、测试验收费、培训费、运行维护费、税金(含美国产品被加征关税)、国际国内运输费、保险和其他为完成本项目所发生的一切费用。
八、供应商资质要求
（一）具有独立承担民事责任的能力；
（二）具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度；
（三）具有履行合同所必需的设备和专业技术能力；
（四）有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录；
（五）近三年内，在经营活动中没有重大违法记录；
（六）本项目不接受联合体响应。
九、磋商响应文件的组成
（一）磋商响应文件一般由下列材料组成（部分表格样式见附件1），复印件须加盖供应商公章，所有材料须按序装订成册：
1. 目录（磋商响应资料与页码对照表，原件）。
2. 磋商响应函（原件）。
3. 响应基本情况一览表（原件）。
4. 详细配置清单（原件）。
5. 技术规格偏离表（原件）。
6. 公司简介（包括公司资质、公司业绩、公司荣誉等，原件）。
7. 资格证明材料
（1）营业执照（复印件）。
（2）法定代表人授权书（原件）。
（3）法定代表人身份证明材料（如身份证、护照等）（复印件）。
（4）法人授权代表身份证明材料（授权代表投标需提供，如身份证、护照等）及单位社保证明（复印件）。
（5）近三年内在经营活动中没有重大违法记录承诺函（原件）。
（6）依法缴纳税收和社会保障资金的相关材料（复印件）。
（7）最近一年度审计报告或财务报表（复印件）。
（8）仪器设备生产或经营企业许可证（如有，复印件，特殊行业必须提供）。
（9）仪器设备销售代理授权证明（进口货物非生产制造厂商投标的，须按第2.2条要求提供，专项授权书提供原件、代理证书提供复印件）。
（10）有关质量认证中心出具的质量体系认证证书（如有，例如：ISO、FDA、CE、3C等，国家强制要求的设备必须提供，复印件）。
（11）近三年来与本次磋商仪器设备相同产品的用户名单及联系方式（以教学、科研用户为主，原件）。
8. 服务措施、服务承诺（主要包括针对本项目的服务、培训方案及其他优惠措施等）（原件）。
9. 供应商认为应该提供的其他材料。
（二）特别说明
1. “磋商响应文件”应装订并密封，并加盖投标单位公章。
2. 正本一份，副本三份，如副本与正本有出入，以正本为准；
3. 相关材料及填写规范按照 《苏州大学招标采购仪器设备投标人须知》 第三条“投标文件”中的具体要求执行。
十、货物交货期、交货地点、付款方式、安装、调试、验收以及售后服务等相关商务要求，参照 《苏州大学招标采购仪器设备投标人须知》 第21条中的要求执行。
十一、磋商文件价格：人民币300元（相关缴纳事宜详见附件3），售后不退。
十二、报名：供应商在报名前，须认真阅读 《苏州大学招标采购仪器设备投标人须知》 和本磋商公告，完全了解并接受其所有条款及要求，并在2026年10月9日12:00前将报名函（格式见附件2）发送邮件至采购人处（lrb998@suda.edu.cn）。
十三、递交磋商响应文件相关事宜
（一）顺丰快递邮寄方式（建议优先采用）
1. 寄达时间：2026年10月13日10:00前。
2. 收件人信息：
收件人：罗老师
联系方式：13656209516
收件地址：江苏省苏州市东环路50号苏大东校区凌云楼906室（采购与招投标管理中心）
（二）现场递交方式
1. 递交时间：2026年10月13日9：30～10：00
2. 递交地点：江苏省苏州市东环路50号苏州大学东校区东大门
十四、递交磋商文件截止时间：2026年10月13日10:00。
十五、磋商时间：2026年10月13日10:00。
竞争性磋商公告附件.rar
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