9月28日,海目星发布定增预案,拟募资不超过22.63亿元,投向四大项目。
其中先进激光及智能自动化技术研发项目投资总额约4.2亿元、拟投入募集资金约4.18亿元,由深圳海目星实施,建设周期3年,重点突破金刚石等散热材料、玻璃3D光波导、BST光束整形技术应用等前沿技术领域。

海目星主业为激光及自动化装备,客户覆盖锂电、光伏、消费电子与半导体等场景。顺着这笔募资的去向,可以看到一条更具体的路线。
2025年12月,海目星申请“一种基于激光隐切的金刚石剥离方法及装置”专利,通过多焦点激光束在金刚石毛坯内部形成连续改质层,再沿改质层剥片,获得目标厚度的金刚石晶圆。2026年9月,海目星获华泰保险等52家机构调研,公司将“AI热管理方向,布局金刚石等散热材料制备工艺”列为AI业务首要方向,并指出BST光束整形结合超快激光可用于ABF开槽、金刚石分片等加工,效率较传统方案显著提升。
这意味着,海目星切入金刚石散热的入口不是材料,而是加工,且直指加工链条中最靠前、成本也最高的一道工序——分片。其背后,是一条正在成型的产业共识:金刚石能否走向量产,很大程度上取决于它能否被低损耗地切开。
为什么是激光?传统加工在金刚石上基本失效
金刚石是自然界硬度最高的材料,碳原子以sp³杂化构成正四面体结构,晶体结构极其稳定。这套物性让它成为终极散热材料,也让机械加工几乎无从下手。
因此,要实现高深宽比、高精度的金刚石微通道加工,皮秒乃至飞秒级别的超快激光几乎是唯一可行的技术路径。
超快激光的脉宽在10⁻¹²至10⁻¹⁵秒量级,能量在热扩散发生之前即完成沉积,形成“冷加工”,热影响区接近于零,从根本上规避sp³向sp²石墨相转变带来的表面发黑与导热性能劣化。

在金刚石产业链上,激光覆盖的环节正在从单点向全链条延伸:晶锭/厚膜的剥离分片、大尺寸晶圆的减薄与整平、热沉微通道刻蚀、金刚石铜/铝复合材料的切割与钻孔、热沉划片、表面打标与内部打标、毛坯取芯与异形成型,以及磨抛前的预处理。
什么是隐切?不改表面,只在内部制造一层“分离面”
激光能在金刚石上做的工序很多,但最先决定成本的是切片。目前主流方案是激光隐切,也称激光剥离或激光切片。

激光隐切通过高能脉冲激光聚焦于金刚石晶体内部亚表层,在焦点处形成微米级改性层(如微裂纹或非晶化区域),再通过应力释放实现分离。其原理本质在于通过内部改性分离实现切割:
激光穿透聚焦:选用特定波长激光(紫外/红外)穿透金刚石表面,在内部亚表层(深度≈厚度1/3-1/2)形成高温等离子体。
应力诱导分裂:改性层破坏晶体连续性,通过机械拉伸(蓝膜扩展)或热应力触发裂纹扩展,沿预设路径精准分离。
难点首先来自晶体各向异性。工业级CVD金刚石沿〈100〉生长,天然解理面是{111},两者夹角54.74°。裂纹扩展时天然倾向于走能量阻力最小的{111}面,若应力约束不足就会偏离预设面,导致台阶断裂甚至破碎——这是隐切最底层的难题。
其次,金刚石高热导率使热量迅速扩散,改质区能量不易局域化,大尺寸扫描时改质阈值与均匀性难以保持一致,直接影响断面平整度与批次良率。
再次,马赛克拼接单晶存在晶相差异和缺陷,会在裂片时放大为不可控断裂,把加工尺寸从1英寸稳定推到2至6英寸乃至兼容12英寸,是下一阶段竞争焦点。些难题最终都收敛到同一组工程指标:损耗与表面质量要同时满足。
也正因如此,竞争焦点正从“能不能切开”转向“能不能稳定切”,主要沿三条线展开:光源自研,把皮秒、飞秒激光器纳入自产;光束整形与时空调控,用多焦点、非球对称改质单元压低损耗、提升平整度;工序一体化,从单机剥离扩展到“剥离—减薄—磨抛—划片”成套产线,向2至6英寸、兼容12英寸和100 μm乃至30 μm延伸。
谁在做?金刚石隐切相关企业梳理
也正因如此,这条赛道上的玩家来源变得多元。多数并非金刚石企业出身,而是从激光设备、晶体装备甚至轨交行业平移而来。
英诺激光:成立于2011年,2021年7月A股创业板上市。2024年攻克金刚石隐切,首次实现25 mm大尺寸单晶及马赛克拼接单晶切片,可分离约600 μm薄片,Ra小于1.5 μm,单片损伤层小于50 μm,损耗不随加工尺寸增加。
西湖仪器: 2021年成立,源自西湖大学仇旻团队。SPARC技术金刚石激光剥离设备,1英寸损耗,最佳约100 μm、加工时间20分钟以内,支持5 mm×5 mm至12英寸晶体,可剥离至100 μm;2025年11月首台设备发布即出货。
大族半导体:大族激光全资子公司,成立于2018年。大族半导体激光剥片QCB-D以非球对称改质单元把裂纹锁定在(100)面,剥离面Ra控制在3 μm以内、损伤层缩减至20 μm,最新公开指标为损耗低至80 μm、效率小于15 min@25 mm×25 mm。
广州三义激光:2012年成立,从培育钻石加工延伸到半导体材料。2026年6月FINE 2026展会发布大尺寸金刚石高效激光剥离设备,通过调控激光参数与扫描路径使裂纹沿预设晶体学平面扩展,主打零崩边、低热损伤。
德龙激光:成立于2005年4月,2022年4月29日科创板上市。2025年年报单列“金刚石激光剥离分片创新解决方案”,产品线上明确给出金刚石隐形切割设备,与高深径比五轴加工设备、精细微加工设备形成配套。
北京晶飞半导体:2023年7月成立,源自中科院半导体所科技成果转化。2026年,其激光剥离金刚石设备实现2英寸单晶与3英寸多晶剥离,并完成未抛光金刚石直接剥离——后者每片可省去10至20小时抛光时间。1英寸损耗小于80 μm,加工时间小于15分钟,已完成多家客户验证。9月,公司在天津经开区注册子公司,投资2000万元建设激光剥离设备生产基地,计划2027年上半年投产。
中微精仪(深圳):2024年11月成立,技术积累始于2022年,首席科学家为中科院院士、清华大学教授孙洪波。金刚石设备方面,支持2至6英寸,剥离厚度100至800 μm。2026年6月完成数千万元天使+轮融资,创维投资独家注资。
碳缘素科技(深圳):2019年成立,业务含金刚石单晶/多晶生产与设备、水导及紫光激光隐切分片与平抛、磨抛智能设备,形成切—磨—抛一体化服务。
河南省科学院激光制造研究所:已开发基于激光的晶圆隐形切割系统与激光垂直剥离技术,后者面向碳化硅晶棒、金刚石晶圆与金刚石散热片。







